混凝土試驗儀器涉及所有物理量的測量,對于材料、工程科學、能源科學關系密切。目前的發(fā)展趨勢有以下幾點:
(1)以自然基準溯源和傳遞,同時在不同量程實現(xiàn)比對。如果自己沒有能力比對就要依靠其它國家。
(2)高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm,并正向0.18μm過渡,2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3,那么就要求10nm量級的精度,而且晶片尺寸還在增大,達到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方,相應的激光穩(wěn)頻精度應該是10的-9次方數(shù)量級。
(3)高速度。目前加工機械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上,上世紀80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應市場的需求。 (4)高靈敏,高分辨,小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。
(5)標準化。通訊接口過去常用GPIB,RS232,目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI?,F(xiàn)在,技術者設法控制技術標準,參與標準制訂是儀器開發(fā)的基礎研究工作之一。
我國儀器科技的發(fā)展現(xiàn)狀
(1)由于長期習慣于仿制國外產(chǎn)品,我國的儀器儀表工業(yè)缺乏創(chuàng)新能力,跟不上科學研究和工程建設的需要。
(2)我國儀器科學與技術研究領域積累了大量科研成果,許多成果處于水平,有待篩選、提高和轉(zhuǎn)化,但產(chǎn)業(yè)化程度很低,沒有形成具有競爭力的完整產(chǎn)業(yè)。 (2)我國儀器科學與技術研究領域積累了大量科研成果,許多成果處于水平,有待篩選、提高和轉(zhuǎn)化,但產(chǎn)業(yè)化程度很低,沒有形成具有競爭力的完整產(chǎn)業(yè)。 |